ESC (Electrostatic Chuck)

ESC是一种用于半导体设备的蚀刻源组件，用于控制和提供蚀刻过程中所需的气体和能量，利用静电的力量在半导体制造设备中固定晶圆的部件，一般ESC按电极数量分为单极型和双极型，根据介质电阻率的大小又分为库伦型和JOHNSEN-RAHBEK型。采用的工艺有蚀刻、CVD、注入等。

ESC新品：指全新制造的ESC组件。这些新产品具有最新的设计和制造技术，可以提供高性能和可靠性

ESC翻新业务：指对已使用过的ESC组件进行修复、维护和改进的服务。在翻新过程中，旧的ESC组件可能会经历清洗、更换零部件、涂层修复等步骤，以恢复其性能和功能。

ESC新品及翻新业务旨在满足半导体行业对蚀刻源组件的需求。新品可以提供最新的技术和性能，适用于新设备或需要升级的系统。而翻新业务则可以为使用过的设备提供经济有效的维护和改进选择，延长其使用寿命并提高性能稳定性。